성공한 사례
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반도체 웨이퍼 취급을 위한 5 축 CNC 가공 스테인리스 스틸 진공 척
사례 세부정보
5축 CNC 가공 스테인리스 스틸 진공 척 (반도체 웨이퍼 핸들링용)
프로젝트 개요
이 맞춤형 프로젝트는 반도체 웨이퍼 고정에 사용되는 스테인리스 스틸 진공 척입니다. 부품에는 수십 개의 미세 진공 홀, 정밀 평면 실링 표면 및 진공 분배 채널이 포함되어 있습니다. 얇은 웨이퍼를 변형 없이 안정적으로 고정하기 위해 평탄도와 홀 위치 정확도가 매우 중요합니다. Chenrong Precision은 시제품 및 소량 생산을 제공했으며, 모든 부품은 진공 누출 테스트 및 평탄도 검사를 통과했습니다.
고객 배경
고객은 싱가포르의 반도체 자동화 장비 제조업체입니다. 광학 검사 중 실리콘 웨이퍼를 고정하기 위한 진공 척이 필요했습니다. 이전 공급업체는 가공 후 평탄도를 유지하지 못했고, 진공 미세 홀에 잔류 버가 있어 웨이퍼 흡입이 불안정하고 입자 오염이 발생했습니다. 고정밀 반도체 CNC 가공을 위해 Chenrong Precision을 선택했습니다.
주요 과제
- 전체 플레이트에서 평탄도 요구 사항 ≤0.003mm의 대형 평면 실링 표면.
- 미세 진공 홀의 밀집된 배열, 입자 생성을 피하기 위한 버 없음 요구 사항.
- 내부 숨겨진 진공 분배 채널, 어려운 디버링.
- 장시간 밀링 중 열 변형에 취약한 스테인리스 스틸 재질.
- 완성된 모든 작업물에 대한 100% 진공 누출 테스트 요구 사항.
당사의 제조 솔루션
- 열 변형을 최소화하기 위해 저응력 가공 전략을 채택한 5축 CNC 밀링.
- 스테인리스 스틸 플레이트 형상 안정화를 위한 거친 가공 및 마무리 사이의 다중 응력 완화 주기.
- 미세 진공 홀 및 내부 숨겨진 채널을 위한 맞춤형 미세 디버링 공정.
- 평탄도 요구 사항을 충족하기 위한 웨이퍼 접촉면의 초정밀 표면 연삭.
- 각 작업물은 진공 누출 테스트 및 전체 CMM 치수 검사를 거칩니다.
- 입자 오염 방지를 위한 초음파 세척 후 클린룸 포장.
프로젝트 사양
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 재질 | 316L 스테인리스 스틸 |
| 가공 공정 | 5축 CNC 밀링, 표면 연삭, 미세 디버링 |
| 표면 마감 | 미세 연삭 표면 |
| 중요 공차 | 평탄도 ≤0.003 mm |
| 배송 범위 | 시제품 + 소량 생산 |
| 자체 테스트 | CMM 검사, 진공 누출 테스트, 입자 검사 |
측정 가능한 프로젝트 결과
- ✅ 전체 플레이트 평탄도 0.003mm 이내 제어, 웨이퍼 핸들링 요구 사항 충족.
- ✅ 모든 미세 진공 홀 버 없음, 웨이퍼 흡입 테스트 중 입자 오염 없음.
- ✅ 완성된 모든 척의 진공 누출 제로.
- ✅ 10 영업일 이내 시제품 샘플 배송.
- ✅ 고객은 척을 검사 장비에 통합하고 반복 주문을 했습니다.
응용 분야
반도체 웨이퍼 검사 장비, 진공 흡착 플랫폼, 광학 테스트 고정구, 얇은 기판 핸들링 시스템.
