5-assige CNC-gefreesde roestvrijstalen vacuümklauwplaat voor halfgeleiderwaferhandling
5-assige CNC-gefreesde roestvrijstalen vacuümklauw voor halfgeleiderwaferhandling
Projectoverzicht
Dit aangepaste project is een roestvrijstalen vacuümklauw die wordt gebruikt voor het vasthouden van halfgeleiderwafers. Het onderdeel bevat tientallen kleine vacuümgaten, een precisievlakke afdichtingsoppervlak en vacuümdistributiekanalen. Vlakheid en nauwkeurigheid van de gatpositie zijn extreem cruciaal om dunne wafers stabiel zonder vervorming vast te houden. Chenrong Precision leverde prototypes en kleine batches, alle onderdelen slaagden voor de vacuümlektest en vlakheidsinspectie.
Klantachtergrond
De klant is een fabrikant van automatiseringsapparatuur voor halfgeleiders uit Singapore. Ze hadden een vacuümklauw nodig om siliciumwafers te bevestigen tijdens optische inspectie. Hun vorige leverancier slaagde er niet in de vlakheid na bewerking te handhaven, en de vacuüm-microgaten hadden resterende bramen, wat leidde tot instabiele waferzuiging en deeltjesvervuiling. Ze kozen Chenrong Precision voor precisie CNC-bewerking van halfgeleiders.
Belangrijkste uitdagingen
- Groot vlak afdichtingsoppervlak met een vlakheidseis ≤0,003 mm over de hele plaat.
- Dichte reeks micro-vacuümgaten, braamvrije eis om deeltjesgeneratie te voorkomen.
- Interne verborgen vacuümdistributiekanalen, moeilijke ontbraming.
- Roestvrij staalmateriaal gevoelig voor thermische vervorming tijdens langdurig frezen.
- 100% vacuümlektest vereist voor elk afgewerkt werkstuk.
Onze productietechnische oplossing
- Gebruik van 5-assige CNC-frezen met een bewerkingsstrategie met lage spanning om thermische vervorming te minimaliseren.
- Meerdere spanningsverlichtingscycli tussen ruw- en nabewerking om de geometrie van de roestvrijstalen plaat te stabiliseren.
- Aangepast micro-ontbraamproces voor micro-vacuümgaten en interne verborgen kanalen.
- Ultra-precisie oppervlakteslijpen voor het wafercontactvlak om aan de vlakheidseis te voldoen.
- Elk werkstuk ondergaat vacuümlektesten en volledige CMM-dimensionale inspectie.
- Verpakking in een schone ruimte na ultrasoon reinigen om deeltjesvervuiling te voorkomen.
Projectspecificaties
| Artikel | Specificatie |
|---|---|
| Materiaal | 316L Roestvrij Staal |
| Bewerkingsproces | 5-assige CNC-frezen, Oppervlakteslijpen, Micro-ontbraming |
| Oppervlakteafwerking | Fijn geslepen oppervlak |
| Kritieke tolerantie | Vlakheid ≤0,003 mm |
| Leveringsomvang | Prototype + Kleine Batch |
| Interne tests | CMM-inspectie, Vacuümlektest, Deeltjesinspectie |
Meetbare projectresultaten
- ✅ Vlakheid van de hele plaat gecontroleerd binnen 0,003 mm, voldoet aan de eis voor waferhandling.
- ✅ Alle micro-vacuümgaten braamvrij, geen deeltjesvervuiling tijdens waferzuigtest.
- ✅ Nul vacuümlekkage voor alle afgewerkte klauwen.
- ✅ Prototype samples geleverd binnen 10 werkdagen.
- ✅ Klant integreerde de klauw in hun inspectiemachine en plaatste herhaalde bestellingen.
Toepassing
Inspectieapparatuur voor halfgeleiderwafers, vacuümadsorptieplatform, optische testarmatuur, dun substraatbehandelingssysteem.
