Mâm cặp chân không thép không gỉ gia công CNC 5 trục để xử lý tấm wafer bán dẫn
Mâm cặp chân không thép không gỉ gia công CNC 5 trục để xử lý tấm wafer bán dẫn
Tổng quan dự án
Dự án tùy chỉnh này là một mâm cặp chân không bằng thép không gỉ được sử dụng để giữ tấm wafer bán dẫn. Bộ phận này chứa hàng chục lỗ chân không nhỏ, bề mặt niêm phong phẳng chính xác và các kênh phân phối chân không. Độ phẳng và độ chính xác vị trí lỗ là cực kỳ quan trọng để giữ tấm wafer mỏng ổn định mà không bị biến dạng. Chenrong Precision đã cung cấp mẫu thử và sản xuất số lượng nhỏ, tất cả các bộ phận đều vượt qua bài kiểm tra rò rỉ chân không và kiểm tra độ phẳng.
Bối cảnh khách hàng
Khách hàng là nhà sản xuất thiết bị tự động hóa bán dẫn đến từ Singapore. Họ yêu cầu một mâm cặp chân không để cố định các tấm wafer silicon trong quá trình kiểm tra quang học. Nhà cung cấp trước đây của họ đã không duy trì được độ phẳng sau khi gia công, và các lỗ chân không siêu nhỏ có các gờ còn sót lại, dẫn đến hút wafer không ổn định và nhiễm bẩn hạt. Họ đã chọn Chenrong Precision cho gia công CNC bán dẫn có độ chính xác cao.
Thách thức chính
- Bề mặt niêm phong phẳng lớn với yêu cầu độ phẳng ≤0,003mm trên toàn bộ tấm.
- Mảng lỗ chân không siêu nhỏ dày đặc, yêu cầu không có gờ để tránh tạo hạt.
- Các kênh phân phối chân không ẩn bên trong, khó làm sạch gờ.
- Vật liệu thép không gỉ dễ bị biến dạng nhiệt trong quá trình phay kéo dài.
- Yêu cầu kiểm tra rò rỉ chân không 100% cho mọi phôi hoàn thành.
Giải pháp sản xuất của chúng tôi
- Áp dụng phay CNC 5 trục với chiến lược gia công ứng suất thấp để giảm thiểu biến dạng nhiệt.
- Nhiều chu kỳ giảm ứng suất giữa gia công thô và gia công tinh để ổn định hình học tấm thép không gỉ.
- Quy trình làm sạch gờ siêu chính xác cho các lỗ chân không siêu nhỏ và các kênh ẩn bên trong.
- Mài bề mặt siêu chính xác cho mặt tiếp xúc wafer để đáp ứng yêu cầu độ phẳng.
- Mỗi phôi trải qua kiểm tra rò rỉ chân không và kiểm tra kích thước CMM đầy đủ.
- Đóng gói trong phòng sạch sau khi làm sạch bằng siêu âm để ngăn ngừa nhiễm bẩn hạt.
Thông số kỹ thuật dự án
| Mục | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Vật liệu | Thép không gỉ 316L |
| Quy trình gia công | Phay CNC 5 trục, Mài bề mặt, Làm sạch gờ siêu nhỏ |
| Hoàn thiện bề mặt | Bề mặt mài tinh |
| Dung sai quan trọng | Độ phẳng ≤0,003 mm |
| Phạm vi giao hàng | Mẫu thử + Số lượng nhỏ |
| Kiểm tra nội bộ | Kiểm tra CMM, Kiểm tra rò rỉ chân không, Kiểm tra hạt |
Kết quả dự án có thể đo lường
- ✅ Độ phẳng toàn bộ tấm được kiểm soát trong phạm vi 0,003mm, đáp ứng yêu cầu xử lý wafer.
- ✅ Tất cả các lỗ chân không siêu nhỏ không có gờ, không nhiễm bẩn hạt trong quá trình kiểm tra hút wafer.
- ✅ Không rò rỉ chân không cho tất cả các mâm cặp hoàn thành.
- ✅ Mẫu thử được giao trong vòng 10 ngày làm việc.
- ✅ Khách hàng đã tích hợp mâm cặp vào máy kiểm tra của họ và đặt hàng lặp lại.
Ứng dụng
Thiết bị kiểm tra wafer bán dẫn, nền tảng hấp thụ chân không, vật cố kiểm tra quang học, hệ thống xử lý đế mỏng.
