5-osiowe maszyny CNC do obróbki płytek półprzewodnikowych
5-osiowa frezarka CNC ze stali nierdzewnej z przyssawką próżniową do obsługi płytek półprzewodnikowych
Przegląd projektu
Ten niestandardowy projekt to przyssawka próżniowa ze stali nierdzewnej używana do mocowania płytek półprzewodnikowych. Część zawiera dziesiątki maleńkich otworów próżniowych, precyzyjną płaską powierzchnię uszczelniającą i kanały dystrybucji próżni. Płaskość i dokładność położenia otworów są niezwykle krytyczne do stabilnego mocowania cienkich płytek bez deformacji. Chenrong Precision dostarczyła prototyp i małą partię produkcyjną, wszystkie części przeszły test szczelności próżniowej i kontrolę płaskości.
Tło klienta
Klient jest producentem automatyki półprzewodnikowej z Singapuru. Potrzebowali przyssawki próżniowej do mocowania płytek krzemowych podczas inspekcji optycznej. Ich poprzedni dostawca nie był w stanie utrzymać płaskości po obróbce, a mikrootwory próżniowe miały pozostałości zadziorów, co prowadziło do niestabilnego ssania płytek i zanieczyszczenia cząstkami. Wybrali Chenrong Precision ze względu na precyzyjną obróbkę CNC dla półprzewodników.
Kluczowe wyzwania
- Duża płaska powierzchnia uszczelniająca z wymogiem płaskości ≤0,003 mm na całej płycie.
- Gęsty układ mikrootworów próżniowych, wymóg braku zadziorów, aby uniknąć generowania cząstek.
- Wewnętrzne ukryte kanały dystrybucji próżni, trudne do gratowania.
- Materiał ze stali nierdzewnej podatny na zniekształcenia termiczne podczas długotrwałego frezowania.
- Wymagany 100% test szczelności próżniowej dla każdego gotowego elementu obrabianego.
Nasze rozwiązanie produkcyjne
- Zastosowano 5-osiowe frezowanie CNC ze strategią obróbki o niskim naprężeniu, aby zminimalizować deformacje termiczne.
- Wielokrotne cykle odprężania między obróbką zgrubną a wykańczającą w celu stabilizacji geometrii płyty ze stali nierdzewnej.
- Niestandardowy proces mikrogratowania dla mikrootworów próżniowych i wewnętrznych ukrytych kanałów.
- Ultraprecyzyjne szlifowanie powierzchni dla płaszczyzny styku płytki, aby spełnić wymagania dotyczące płaskości.
- Każdy element obrabiany przechodzi test szczelności próżniowej i pełną kontrolę wymiarową CMM.
- Pakowanie w czystym pomieszczeniu po czyszczeniu ultradźwiękowym, aby zapobiec zanieczyszczeniu cząstkami.
Specyfikacje projektu
| Przedmiot | Specyfikacja |
|---|---|
| Materiał | Stal nierdzewna 316L |
| Proces obróbki | 5-osiowe frezowanie CNC, szlifowanie powierzchni, mikrogratowanie |
| Wykończenie powierzchni | Powierzchnia drobno szlifowana |
| Krytyczna tolerancja | Płaskość ≤0,003 mm |
| Zakres dostawy | Prototyp + Mała partia |
| Testy wewnętrzne | Kontrola CMM, test szczelności próżniowej, kontrola cząstek |
Mierzalne wyniki projektu
- ✅ Płaskość całej płyty kontrolowana w granicach 0,003 mm, spełnia wymagania obsługi płytek.
- ✅ Wszystkie mikrootwory próżniowe bez zadziorów, brak zanieczyszczenia cząstkami podczas testu ssania płytki.
- ✅ Zero wycieków próżni dla wszystkich gotowych przyssawek.
- ✅ Próbki prototypowe dostarczone w ciągu 10 dni roboczych.
- ✅ Klient zintegrował przyssawkę ze swoim urządzeniem inspekcyjnym i złożył kolejne zamówienia.
Zastosowanie
Urządzenia do inspekcji płytek półprzewodnikowych, platforma adsorpcji próżniowej, uchwyt do testów optycznych, system obsługi cienkich podłoży.
