Yarım iletken wafer işleme için 5 Eksenli CNC İşlenmiş Paslanmaz Çelik Vakum Çak
Yarı İletken Wafer Taşıma için 5 Eksen CNC İşlenmiş Paslanmaz Çelik Vakum Aynası
Proje Genel Bakışı
Bu özel proje, yarı iletken wafer tutma için kullanılan paslanmaz çelik bir vakum aynasıdır. Parça, düzinelerce küçük vakum deliği, hassas düz sızdırmazlık yüzeyi ve vakum dağıtım kanalları içerir. İnce wafer'ı deformasyon olmadan kararlı bir şekilde tutmak için düzlük ve delik konumu doğruluğu son derece kritiktir. Chenrong Precision, prototip ve küçük parti üretim teslim etti, tüm parçalar vakum sızıntı testi ve düzlük muayenesini geçti.
Müşteri Arka Planı
Müşteri, Singapurlu bir yarı iletken otomasyon ekipmanı üreticisidir. Optik muayene sırasında silikon wafer'larını sabitlemek için bir vakum aynasına ihtiyaç duydular. Önceki tedarikçileri işleme sonrası düzlüğü koruyamadı ve vakum mikro deliklerinde artık çapaklar vardı, bu da kararsız wafer emişine ve partikül kirliliğine yol açtı. Yüksek hassasiyetli yarı iletken CNC işleme için Chenrong Precision'ı seçtiler.
Temel Zorluklar
- Tüm plaka boyunca ≤0.003mm düzlük gereksinimi olan büyük düz sızdırmazlık yüzeyi.
- Partikül oluşumunu önlemek için çapak içermeyen, yoğun mikro vakum deliği dizisi.
- Dahili gizli vakum dağıtım kanalları, zorlu çapak alma.
- Uzun süreli frezeleme sırasında termal deformasyona eğilimli paslanmaz çelik malzeme.
- Her bitmiş iş parçası için %100 vakum sızıntı testi gerekliliği.
Üretim Çözümümüz
- Termal deformasyonu en aza indirmek için düşük gerilimli işleme stratejisi ile 5 eksenli CNC frezeleme benimsendi.
- Paslanmaz çelik plaka geometrisini stabilize etmek için kaba işleme ve ince işleme arasında çoklu gerilim giderme döngüleri.
- Mikro vakum delikleri ve dahili gizli kanallar için özel mikro çapak alma işlemi.
- Düzlük gereksinimini karşılamak için wafer temas düzlemi için ultra hassas yüzey taşlama.
- Her iş parçası vakum sızıntı testi ve tam CMM boyutsal incelemesinden geçer.
- Partikül kirliliğini önlemek için ultrasonik temizlik sonrası temiz oda paketlemesi.
Proje Özellikleri
| Ürün | Özellik |
|---|---|
| Malzeme | 316L Paslanmaz Çelik |
| İşleme Süreci | 5 Eksen CNC Frezeleme, Yüzey Taşlama, Mikro Çapak Alma |
| Yüzey İşlem | İnce Taşlanmış Yüzey |
| Kritik Tolerans | Düzlük ≤0.003 mm |
| Teslimat Kapsamı | Prototip + Küçük Parti |
| Dahili Testler | CMM İncelemesi, Vakum Sızıntı Testi, Partikül İncelemesi |
Ölçülebilir Proje Sonuçları
- ✅ Tüm plaka düzlüğü 0.003mm içinde kontrol edildi, wafer taşıma gereksinimini karşılıyor.
- ✅ Tüm mikro vakum delikleri çapak içermiyor, wafer emiş testi sırasında partikül kirliliği yok.
- ✅ Tüm bitmiş aynalar için sıfır vakum sızıntısı.
- ✅ Prototip numuneleri 10 iş günü içinde teslim edildi.
- ✅ Müşteri aynayı muayene makinesine entegre etti ve tekrar sipariş verdi.
Uygulama
Yarı iletken wafer muayene ekipmanı, vakum adsorpsiyon platformu, optik test fikstürü, ince alt tabaka taşıma sistemi.
