सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग के लिए 5-अक्ष सीएनसी मशीनीकृत स्टेनलेस स्टील वैक्यूम चक

सेमीकंडक्टर वेफर हैंडलिंग के लिए 5-अक्ष सीएनसी मशीनीकृत स्टेनलेस स्टील वैक्यूम चक

परियोजना का अवलोकन

यह कस्टम प्रोजेक्ट एक स्टेनलेस स्टील वैक्यूम चक है जिसका उपयोग सेमीकंडक्टर वेफर होल्डिंग के लिए किया जाता है।precision flat sealing surface and vacuum distribution channels सटीक सपाट सीलिंग सतह और वैक्यूम वितरण चैनलफ्लैटनेस और छेद की स्थिति सटीकता बहुत महत्वपूर्ण हैं, ताकि बिना किसी विरूपण के पतली वेफर को स्थिर रूप से रखा जा सके।सभी भागों को वैक्यूम रिसाव परीक्षण और सपाटता निरीक्षण पारित किया.

क्लाइंट पृष्ठभूमि

ग्राहक सिंगापुर से एक अर्धचालक स्वचालन उपकरण निर्माता है। उन्हें ऑप्टिकल निरीक्षण के दौरान सिलिकॉन वेफर्स को ठीक करने के लिए एक वैक्यूम चक की आवश्यकता थी।Their previous supplier failed to maintain flatness after machining उनके पिछले आपूर्तिकर्ता ने मशीनिंग के बाद समतलता बनाए रखने में विफल रहावे उच्च परिशुद्धता अर्धचालक सीएनसी मशीनिंग के लिए Chenrong प्रेसिजन चुना।

प्रमुख चुनौतियाँ

1. Large flat sealing surface with flatness requirement ≤0.003mm across the whole plate. बड़ी सपाट सीलिंग सतह जिसमें पूरी प्लेट पर 0.003 मिमी की सपाटता की आवश्यकता होती है।
2. सूक्ष्म वैक्यूम छेद की घनी सरणी, कणों के उत्पादन से बचने के लिए burr मुक्त आवश्यकता।
3. आंतरिक छिपे हुए वैक्यूम वितरण चैनलों, मुश्किल deburring.
4. स्टेनलेस स्टील की सामग्री लंबे समय तक पीसने के दौरान थर्मल विरूपण के लिए प्रवण होती है।
5. 100% वैक्यूम रिसाव परीक्षण प्रत्येक तैयार workpiece के लिए आवश्यक है।

हमारा विनिर्माण समाधान

• थर्मल विरूपण को कम करने के लिए कम तनाव वाली मशीनिंग रणनीति के साथ 5-अक्ष सीएनसी मिलिंग को अपनाया गया।
• स्टेनलेस स्टील प्लेट ज्यामिति को स्थिर करने के लिए roughing और समाप्त करने के बीच कई तनाव-रिलिफ चक्र।
• माइक्रो वैक्यूम छेद और आंतरिक छिपे हुए चैनलों के लिए कस्टम माइक्रो डेबरिंग प्रक्रिया।
• अल्ट्रा-प्रेसिजन सतह ग्राइंडिंग के लिए wafer संपर्क विमान को पूरा करने के लिए flatness आवश्यकता.
• प्रत्येक workpiece vacuum leak testing और full CMM dimensional inspection से गुजरता है।
• कणों के संदूषण को रोकने के लिए अल्ट्रासोनिक सफाई के बाद साफ कमरे पैकेजिंग।

परियोजना विनिर्देश

मापने योग्य परियोजना परिणाम

• ✅ Full plate flatness controlled within 0.003mm, wafer handling requirement को पूरा करता है।
• ✅ सभी सूक्ष्म वैक्यूम छेद burr-मुक्त, कोई कण संदूषण during wafer suction test.
• ✅ सभी तैयार chucks के लिए शून्य वैक्यूम रिसाव।
• ✅ प्रोटोटाइप नमूने 10 कार्य दिवसों के भीतर वितरित किए जाते हैं।
• ✅ Customer integrated the chuck into their inspection machine and placed repeat orders. ग्राहक ने चक को अपनी निरीक्षण मशीन में एकीकृत किया और दोहराए गए आदेश दिए।

आवेदन

अर्धचालक वेफर निरीक्षण उपकरण, वैक्यूम अवशोषण प्लेटफार्म, ऑप्टिकल परीक्षण स्थिरता, पतली सब्सट्रेट हैंडलिंग प्रणाली।