5-осевой вакуумный зажим из нержавеющей стали с ЧПУ для обработки полупроводниковых пластин
5-осевой CNC обработанный вакуумный чехол из нержавеющей стали для обработки полупроводниковых вафелей
Обзор проекта
Этот индивидуальный проект - вакуумный цикл из нержавеющей стали, используемый для хранения полупроводниковых пластин.точные плоские уплотнительные поверхности и каналы распределения вакуумаПлоскость и точность расположения отверстия чрезвычайно важны для удержания тонкой пластины стабильно без деформации.Все детали прошли испытание на вакуумную утечку и проверку плоскости.
История клиента
Заказчик - производитель оборудования для автоматизации полупроводников из Сингапура.Их предыдущий поставщик не смог сохранить плоскость после обработкиОни выбрали компанию Chenrong Precision для высокоточной обработки полупроводников с помощью ЧПУ.
Основные проблемы
- Большая плоская уплотнительная поверхность с требованием плоскости ≤ 0,003 мм по всей пластине.
- Плотное массиво микро вакуумных отверстий, требование свободное от заноса, чтобы избежать образования частиц.
- Внутренние скрытые каналы распределения вакуума, трудно очищать.
- Материал из нержавеющей стали, подверженный термическим искажениям при длительной фрезе.
- Проверка на 100% вакуумной утечки требуется для каждой готовой заготовки.
Наше решение для производства
- Принята 5-осевая фрезерная обработка с помощью технологии обработки с низким напряжением для минимизации термической деформации.
- Многочисленные циклы снятия напряжения между грубостью и отделкой для стабилизации геометрии нержавеющей стали.
- Специальный процесс микро-очистки для микро-вакуумных отверстий и внутренних скрытых каналов.
- Ультраточная поверхностная шлифовка контактной плоскости пластины для удовлетворения требований плоскости.
- Каждая деталь проходит испытание на вакуумную утечку и полную измеренную проверку CMM.
- Уборка упаковки после ультразвуковой очистки для предотвращения загрязнения частицами.
Спецификации проекта
| Положение | Спецификация |
|---|---|
| Материал | 316L из нержавеющей стали |
| Процесс обработки | 5-осевое CNC фрезирование, поверхностное шлифование, микродебургирование |
| Поверхностная отделка | Прекрасная почвенная поверхность |
| Критическая терпимость | Плоскость ≤ 0,003 мм |
| Сфера применения | Прототип + небольшая партия |
| Внутренние испытания | Проверка CMM, испытание на вакуумную утечку, проверка частиц |
Измеримые результаты проекта
- ✅ Полная плоскость пластины контролируется в пределах 0,003 мм, отвечает требованиям обработки пластинок.
- ✅ Все микровакуумные отверстия свободны от высыпаний, без загрязнения частицами во время испытания всасывания пластины.
- ✅ Никаких утечек вакуума для всех готовых шлангов.
- ✅ Прототипы будут доставлены в течение 10 рабочих дней.
- ✅ Заказчик интегрировал коробку в свою инспекционную машину и сделал повторные заказы.
Применение
Полупроводниковое оборудование для проверки пластинок, платформа для адсорбции вакуума, оптическое испытательное устройство, система обработки тонкой подложки.
