5-Axis CNC Machined Stainless Steel Vacuum Chuck για Χειρισμό Δισκίων Ημιαγωγών
5 άξονες CNC Εργαστηριακό ατσάλι ατσάλινου κενού Τσακ για την επεξεργασία ημιαγωγών πλακιδίων
Σύνοψη του έργου
Αυτό το έργο είναι ένα κενό σχοινί από ανοξείδωτο χάλυβα που χρησιμοποιείται για τη διατήρηση των ημιαγωγών.επιφάνειες επίπεδης σφράγισης ακριβείας και κανάλια διανομής κενούΗ επίπεδη θέση και η ακρίβεια της θέσης της τρύπας είναι εξαιρετικά κρίσιμες για να διατηρηθεί σταθερή η λεπτή πλάκα χωρίς παραμόρφωση.όλα τα εξαρτήματα πέρασαν την δοκιμή διαρροής υπό κενό και την επιθεώρηση επίπεδης στάθμης.
Προηγούμενο του πελάτη
Ο πελάτης είναι ένας κατασκευαστής εξοπλισμού αυτοματισμού ημιαγωγών από τη Σιγκαπούρη.Ο προηγούμενος προμηθευτής τους απέτυχε να διατηρήσει την επίπεδη μετά την επεξεργασίαΗ εταιρεία επέλεξε την Chenrong Precision για την υψηλής ακρίβειας επεξεργασία CNC των ημιαγωγών.
Βασικές Προκλήσεις
- Μεγάλη επίπεδη επιφάνεια σφράγισης με απαίτηση επίπεδων διαστάσεων ≤ 0,003 mm σε ολόκληρη την πλάκα.
- Σφιχτή σειρά μικρο-τρύπων κενού, απαίτηση χωρίς τρύπες για να αποφευχθεί η δημιουργία σωματιδίων.
- Εσωτερικά κρυμμένα κανάλια διανομής κενού, δύσκολη αποσίδωση.
- Υλικό από ανοξείδωτο χάλυβα που είναι επιρρεπές σε θερμικές στρεβλώσεις κατά τη διάρκεια μακροχρόνιας άλεσης.
- Απαιτείται δοκιμή διαρροής 100% κενού για κάθε τελικό εργασιακό κομμάτι.
Η Εταιρική Λύση
- Υιοθετήθηκε 5-άξονας CNC φρέσκας με χαμηλή πίεση στρατηγική μηχανικής για την ελαχιστοποίηση της θερμικής παραμόρφωσης.
- Πολλαπλούς κύκλους ανακούφισης από την πίεση μεταξύ της ακατέργασης και της τελικής επεξεργασίας για τη σταθεροποίηση της γεωμετρίας της πλάκας από ανοξείδωτο χάλυβα.
- Προσαρμοσμένη διαδικασία μικρο-αποξίωσης για μικρο-τρύπες κενού και εσωτερικά κρυμμένα κανάλια.
- Υπερτελής ακρίβειας άλεση της επιφάνειας για το επίπεδο επαφής της πλάκας για την κάλυψη των απαιτήσεων επίπεδης.
- Κάθε τεμάχιο υποβάλλεται σε δοκιμή διαρροής κενού και σε πλήρη διμερή επιθεώρηση CMM.
- Καθαρίστε την συσκευασία του δωματίου μετά από υπερηχητικό καθαρισμό για την πρόληψη της μόλυνσης από σωματίδια.
Προδιαγραφές έργου
| Άρθρο | Προδιαγραφές |
|---|---|
| Υλικό | 316L από ανοξείδωτο χάλυβα |
| Εργατική διαδικασία | 5 άξονες CNC φρέσκιση, άλεση επιφάνειας, μικροεξόρυξη |
| Τελεία επιφάνειας | Καλή επιφάνεια εδάφους |
| Κριτική ανεκτικότητα | Πλανότητα ≤ 0,003 mm |
| Πεδίο εφαρμογής | Πρωτότυπο + Μικρή παρτίδα |
| Εσωτερικές δοκιμές | Επιθεώρηση CMM, δοκιμή διαρροής υπό κενό, επιθεώρηση σωματιδίων |
Μετρήσιμα αποτελέσματα έργου
- ✅ Η πλήρης επίπεδεια της πλάκας ελέγχεται εντός 0,003 mm, ικανοποιεί τις απαιτήσεις χειρισμού των κυψελών.
- ✅ Όλες οι μικρο-κενές τρύπες είναι απαλλαγμένες από σπασμούς, χωρίς μόλυνση από σωματίδια κατά τη διάρκεια της δοκιμής αναρρόφησης της πλάκας.
- ✅ Μηδενική διαρροή κενού για όλα τα τελικά τσακ.
- ✅ Τα πρωτότυπα παραδίδονται εντός 10 εργάσιμων ημερών.
- ✅ Ο πελάτης ενσωμάτωσε την μηχανή στον μηχανισμό ελέγχου και έκανε επαναλαμβανόμενες παραγγελίες.
Εφαρμογή
Εξοπλισμός επιθεώρησης ημιαγωγών πλακιδίων, πλατφόρμα προσρόφησης κενού, οπτική συσκευή δοκιμής, σύστημα χειρισμού λεπτών υπόστρωτων.
