成功したケース
法人向けソリューション
"
半導体・ウェーファー処理用の5軸のCNC加工ステンレス鋼真空チャック
事件の詳細
半導体・ウェーファー処理用の5軸のCNC加工ステンレス鋼真空チャック
プロジェクト概要
このカスタムプロジェクトは 半導体ホイファーを保持するために使用される ステンレス鋼の真空チャックです精密の平面密封面と真空配送チャネル. 平らさと穴の位置精度は,変形なしに薄いウエファーを安定的に保持するために非常に重要です. チェンロン精密はプロトタイプと小批量生産を提供,すべての部品は真空漏れ試験と平ら性検査に合格しました.
クライアントの背景
顧客はシンガポールの半導体自動化機器メーカーです 光学検査中にシリコンウエファを固定するために真空チャックが必要でした前のサプライヤーは,加工後に平らさを維持することができなかったワッフル吸着と粒子の汚染を不安定に導いた.彼らは高精度の半導体CNC加工のためにチェンロン精密を選択した.
主要 な 課題
- プレート全体で平らさ要求 ≤0.003mm の大きな平らな密封面
- 微小真空穴の密集した配列 粒子の生成を避けるために 掘り出さない必要があります
- 内部に隠された真空配送チャネルで 難易度が高い
- 耐久的な磨き中に熱歪みに易くステンレス鋼材料
- すべての完成品に対して100%の真空漏洩試験が必要です.
製造 ソリューション
- 熱変形を最小限にするために低ストレスの加工戦略で5軸のCNCフレーズを採用した.
- 粗末化と仕上げの間には複数のストレス解消サイクルがあり,ステンレス鋼板の幾何学を安定させる.
- 微小真空穴と内部隠れたチャネルのためのカスタムマイクロデブーリングプロセス
- 超精密な表面磨きで,円盤の接触平面を平らな要求を満たす.
- 各パーツは真空漏れ検査とCMMの完全な次元検査を受けます.
- 超音波洗浄後,小粒子の汚染を防ぐために部屋の包装をきれいにします.
プロジェクトの仕様
| ポイント | 仕様 |
|---|---|
| 材料 | 316L ステンレス |
| 機械加工プロセス | 5軸のCNCフレーズ,表面磨き,マイクロデブリング |
| 表面塗装 | 細い土面 |
| 批判 的 な 寛容 | 平らさ ≤0.003mm |
| 配達範囲 | プロトタイプ + 小批量 |
| 社内テスト | CMM検査,真空漏れ検査,粒子検査 |
測定可能なプロジェクト成果
- ✅0.003mm以内の完全なプレート平らさを制御し,ウエファー処理要件を満たします.
- ✅すべてのマイクロ真空穴は,バールフリーで,ウエファー吸入試験中に粒子の汚染はありません.
- ✅ 完成したチャックには真空漏れがゼロです.
- ✅プロトタイプサンプルが10日以内に配達されます
- ✅ 顧客はチャックを検査機に組み込み 繰り返しの注文をしました
適用する
半導体ウエファー検査装置 真空吸着プラットフォーム 光学試験装置 薄質材処理システム
