CNC-bearbeitete PTFE-Dämmungsbauteile für Halbleitergeräte.

Kundenspezifische CNC-bearbeitete PTFE-Isolationsstrukturteile für Halbleiterausrüstung

Schnelle Details

Diese kundenspezifischen PTFE-Komponenten werden präzisions-CNC-bearbeitet für Halbleiterverarbeitungsanlagen. Mit gekrümmten Profilen, großen Hohlräumen, Gewindeabschnitten und Positionierbohrungen. PTFE-Material bietet hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, chemische Inertheit und elektrische Isolierung. Enge Maßtoleranzen gewährleisten eine stabile Leistung in korrosiven Halbleiterprozessumgebungen.

Produktbeschreibung

Dieser Satz von PTFE-Strukturkomponenten dient als isolierende Stütz- und Strömungsführungsteile in Nassbearbeitungsanlagen für Halbleiter. PTFE wird wegen seiner hervorragenden Beständigkeit gegen starke Säuren und Laugen, seiner Nichtkontamination und seiner dielektrischen Isolationseigenschaften ausgewählt, wodurch Metallionenverschmutzung von Siliziumwafern vermieden wird. Die komplexe gekrümmte, hohle und tiefe Hohlraumstruktur erfordert Mehrachsen-CNC-Bearbeitung. PTFE ist weich und neigt beim Schneiden zum Absplittern. Unsere Techniker haben optimierte Schnittparameter mit geringer Vorschubgeschwindigkeit und spezielle Werkzeugwegstrategien angewendet, um Kantenabsplitterungen zu vermeiden und eine glatte Oberflächengüte zu erhalten. Alle Maße werden vor dem Versand mit einer Koordinatenmessmaschine inspiziert, um die strengen Sauberkeitsanforderungen von Halbleiterproduktionslinien zu erfüllen.

Kundenspezifische Parametertabelle

Produktmerkmale

• Jungfräuliches PTFE-Material, chemisch inert, beständig gegen starke korrosive Chemikalien
• Hervorragende elektrische Isolierung und geringe Partikelbildung, geeignet für Waferbearbeitungsumgebungen
• Kundenspezifische komplexe gekrümmte & hohle Struktur, kontrolliertes Kantenabsplittern während der Bearbeitung
• Geringer Reibungskoeffizient und stabile Abmessungen über einen weiten Temperaturbereich
• Nicht kontaminierendes Material zur Vermeidung von Metallionenverschmutzung von Halbleiterwafern

Produkt Anwendung

Halbleiter-Nassbearbeitungsanlagen

Verwendet als Isolierhalterungen, Strömungsführungshäuser in Nassätz- und Reinigungsmaschinen. Beständig gegen korrosive Prozesschemikalien und Aufrechterhaltung einer ultra-sauberen Arbeitsumgebung.

Chemische Flüssigkeitshandhabungsmodule

Geeignet für korrosive Flüssigkeitsfördersysteme in Labor- und industriellen Chemieanlagen.

FAQ

F1: Was ist der Arbeitstemperaturbereich von jungfräulichen PTFE-Teilen?

A1: Jungfräuliches PTFE arbeitet stabil von -200°C bis +260°C.

F2: Können PTFE-Teile in Flusssäureumgebungen verwendet werden?

A2: Ja, PTFE ist beständig gegen HF und die meisten starken korrosiven Chemikalien.

F3: Bieten Sie gefüllte PTFE-Optionen für höhere Verschleißfestigkeit an?

A3: Wir liefern auf Anfrage kohlenstoffgefülltes, glasfasergefülltes PTFE für verbesserte Steifigkeit und Verschleißfestigkeit.

F4: Werden diese PTFE-Komponenten in sauberer Verpackung verpackt?

A4: Ja, wir können eine Reinraumverpackung der Klasse 100 für Halbleiteranforderungen verwenden.

F5: Was ist die Vorlaufzeit für Muster?

A5: 8–12 Arbeitstage nach Zeichnungsbestätigung, abhängig von der Komplexität des Teils.