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半導体装置用カスタムCNC加工PTFE絶縁構造部品 | ChenRong
CNC加工PTFE絶縁部品
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半導体装置用カスタムCNC加工PTFE絶縁構造部品
クイック詳細
これらのカスタムPTFEコンポーネントは、半導体製造装置用に精密CNC加工されています。湾曲したプロファイル、大きな中空のキャビティ、ねじ山部分、位置決め穴を備えています。PTFE材料は、優れた耐熱性、化学的安定性、電気絶縁性を提供します。厳密な寸法公差により、腐食性の半導体プロセス環境での安定した性能が保証されます。
製品説明
このPTFE構造部品セットは、ウェットプロセス半導体装置内部の絶縁サポートおよび流体ガイド部品として機能します。PTFEは、その優れた耐酸性・耐アルカリ性、非汚染性、誘電絶縁性により選択されており、シリコンウェーハへの金属イオン汚染を回避します。複雑な湾曲、中空、深いキャビティ構造には、多軸CNC加工が必要です。PTFEは柔らかく、切削中に欠けやすいです。当社の技術者は、エッジの欠けをなくし、滑らかな表面仕上げを維持するために、最適化された低送り切削パラメータと特殊なツールパス戦略を採用しました。すべての寸法は、半導体製造ラインの厳格な清浄度要件を満たすために、出荷前に三次元測定機で検査されます。
カスタムパラメータテーブル
| パラメータ | 値 |
|---|---|
| 加工タイプ | CNCフライス加工、旋削、穴あけ、タッピング、バリ取り |
| 利用可能な材料 | バージンPTFE（テフロン）、充填PTFE |
| 公差 | ±0.02 mm |
| 表面仕上げ | 滑らかな加工済みPTFE表面、バリなし、エッジの欠けなし |
| 図面形式 | 2D PDF / CAD、3D STEP / IGES |
| 応用シナリオ | 半導体ウェットプロセス装置、化学流体システム、絶縁治具 |
| 検査方法 | CMM、マイクロメータ、光学式コンパレータ |
| 生産範囲 | プロトタイプ、小ロット＆大量生産 |
製品の特徴
- バージンPTFE材料、化学的に不活性、強力な腐食性化学薬品に耐性
- 優れた電気絶縁性と低パーティクル発生、ウェーハ加工環境に適しています
- カスタムの複雑な湾曲＆中空構造、加工中のエッジ欠けを制御
- 低摩擦係数と広い温度範囲での寸法安定性
- 半導体ウェーハの金属イオン汚染を防ぐ非汚染材料
製品応用
半導体ウェットプロセス装置
ウェットエッチングおよび洗浄機内部の絶縁ブラケット、流体ガイドハウジングとして使用。腐食性プロセス化学薬品に耐え、超クリーンな作業環境を維持します。
化学流体ハンドリングモジュール
実験室および工業用化学装置における腐食性液体供給システムに適しています。
よくある質問
Q1: バージンPTFE部品の動作温度範囲は？
A1: バージンPTFEは、-200℃から+260℃まで安定して動作します。
Q2: PTFE部品はフッ化水素酸環境で使用できますか？
A2: はい、PTFEはHFおよびほとんどの強力な腐食性化学薬品に耐性があります。
Q3: より高い耐摩耗性のために充填PTFEオプションを提供していますか？
A3: 当社は、剛性と耐摩耗性を向上させるために、要求に応じてカーボン充填、ガラス充填PTFEを供給しています。
Q4: これらのPTFEコンポーネントはクリーンなパッケージで梱包されていますか？
A4: はい、半導体グレードの要件に対応するために、クラス100のクリーンルームパッケージを使用できます。
Q5: サンプルリードタイムは？
A5: 図面確認後8〜12営業日、部品の複雑さによります。
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